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序號

產品序列

主要參數(shù)

1

RD-PFR/PFS系列

水分：<0.5%；顆粒(0.5um顆粒，個/ml)：<100；痕量金屬(K、Na、Fe，ppb）：<500；膜厚：1.2~2.2um；分辨率：2um(g+h+i曝光)

2

RD-PTL500系列

水分：<0.5%；顆粒(0.5um顆粒，個/ml)：<100；痕量金屬(K、Na、Fe，ppb）：<300；膜厚：1.4~2.2um分辨率：1.5um(g+h+i曝光)

3

RD-PTH800系列

水分：<0.5%；顆粒(0.5um顆粒，個/ml)：<100；痕量金屬(K、Na、Fe，ppb）：<100；膜厚：1.4~2.2um；分辨率：1.5um(g+h+i曝光)

序號

產品序列

主要參數(shù)

1

RD-4000系列

水分：<0.5%；顆粒(0.5um顆粒，個/ml)：<100；痕量金屬(K、Na、Fe，ppb）：<50；膜厚：1.0~4.5um；分辨率：0.4um(i-line曝光)

2

RD-6000系列

序號

產品序列

主要參數(shù)

1

RD-2000系列

2

RD-4000系列

3

RD-6000系列

4

RD-NL700系列

水分：<0.5%；顆粒(0.5um顆粒，個/ml)：<100；痕量金屬(K、Na、Fe，ppb）：<500；膜厚：1.8~4.5um；倒梯形角度：45~80°；分辨率：1um(g+h+i曝光)